Hitachi KM11 yağ basınç sensörü EX200-2-3-5 için uygundur

Basınç sensörünün dört basınç teknolojisi

1. Kapasitif

Kapasitif basınç sensörleri genellikle çok sayıda OEM profesyonel uygulaması tarafından tercih edilir. İki yüzey arasındaki kapasitans değişikliklerini tespit etmek, bu sensörlerin son derece düşük basınç ve vakum seviyelerini algılamasını sağlar. Tipik sensör konfigürasyonumuzda kompakt bir mahfaza, yakın aralıklı, paralel ve elektriksel olarak izole edilmiş iki metal yüzeyden oluşur; bunlardan biri esas olarak basınç altında hafifçe bükülebilen bir diyaframdır. Bu sıkıca sabitlenmiş yüzeyler (veya plakalar), düzeneğin bükülmesi aralarındaki boşluğu değiştirecek (aslında değişken bir kapasitör oluşturacak şekilde) monte edilir. Ortaya çıkan değişiklik, orantılı yüksek seviyeli bir sinyali güçlendiren ve çıkaran hassas bir doğrusal karşılaştırıcı devre (veya ASIC) tarafından tespit edilir.

2.CVD tipi

kimyasal buhar biriktirme (veya "CVD") üretim yöntemi, polisilikon katmanını paslanmaz çelik diyaframa moleküler düzeyde bağlar, böylece mükemmel uzun vadeli sürüklenme performansına sahip sensör üretir. Çok makul bir fiyata mükemmel performansa sahip polisilikon gerinim ölçer köprüler oluşturmak için yaygın toplu işleme yarı iletken üretim yöntemleri kullanılır. CVD yapısı mükemmel maliyet performansına sahiptir ve OEM uygulamalarında en popüler sensördür.

3. Püskürtme film türü

Püskürtme filmi biriktirme (veya "film"), maksimum birleşik doğrusallık, histerezis ve tekrarlanabilirliğe sahip bir sensör oluşturabilir. Doğruluk, tam ölçeğin %0,08'i kadar yüksek olabilirken, uzun vadeli sapma her yıl tam ölçeğin %0,06'sı kadar düşük olabilir. Temel cihazların olağanüstü performansı; püskürtmeli ince film sensörümüz, basınç algılama endüstrisinde bir hazinedir.

4.MMS türü

Bu sensörler, basınç değişikliklerini tespit etmek için mikro işlenmiş silikon (MMS) diyaframı kullanır. Silikon diyafram, yağla doldurulmuş 316SS ile ortamdan izole edilir ve proses akışkan basıncıyla seri olarak reaksiyona girer. MMS sensörü, kompakt bir sensör paketinde yüksek voltaj direnci, iyi doğrusallık, mükemmel termal şok performansı ve stabilite sağlayabilen ortak yarı iletken üretim teknolojisini benimser.