Hitachi KM11 Yağ Basınç Sensörü EX200-2-3-5 için uygun

Basınç sensörü dört basınç teknolojisi

1. Kapasitif

Kapasitif basınç sensörleri genellikle çok sayıda OEM profesyonel uygulaması tarafından tercih edilir. İki yüzey arasındaki kapasitans değişikliklerinin tespit edilmesi, bu sensörlerin son derece düşük basınç ve vakum seviyelerini algılamasını sağlar. Tipik sensör konfigürasyonumuzda, kompakt bir gövde, biri aslında basınç altında hafifçe bükülebilen bir diyafram olan iki yakın aralıklı, paralel ve elektriksel olarak izole metal yüzeylerden oluşur. Bu sıkı sabit yüzeyler (veya plakalar) montajın bükülmesi aralarındaki boşluğu değiştirecek şekilde monte edilir (aslında değişken bir kapasitör oluşturur). Ortaya çıkan değişiklik, orantılı bir üst düzey sinyali güçlendiren ve çıkaran (veya ASIC) ile hassas bir doğrusal karşılaştırıcı devresi tarafından tespit edilir.

2.cvd tipi

Kimyasal buhar birikimi (veya "CVD") üretim yöntemi, polisilicon tabakasını moleküler düzeyde paslanmaz çelik diyaframına bağlar, böylece mükemmel uzun süreli sürüklenme performansı ile sensör üretir. Yaygın parti işleme yarı iletken üretim yöntemleri, çok makul bir fiyata mükemmel performansa sahip polisilikon gerinim ölçer köprüleri oluşturmak için kullanılır. CVD yapısı mükemmel maliyet performansına sahiptir ve OEM uygulamalarındaki en popüler sensördür.

3. Püskürtme film tipi

Püskürtme film birikimi (veya "film") maksimum kombine doğrusallık, histerezis ve tekrarlanabilirlik ile bir sensör oluşturabilir. Doğruluk tam ölçeğin% 0.08'i kadar yüksek olabilirken, uzun vadeli sapma her yıl tam ölçeğin% 0.06'sına kadar düşüktür. Anahtar enstrümanların olağanüstü performansı-püskürtülmüş ince film sensörü, basınç algılama endüstrisinde bir hazinedir.

4.MMS Türü

Bu sensörler, basınç değişikliklerini tespit etmek için mikro-işlenmiş silikon (MMS) diyafram kullanır. Silikon diyafram, yağ dolu 316SS ile ortamdan izole edilir ve işlem sıvısı basıncı ile seri olarak reaksiyona girerler. MMS sensörü, kompakt bir sensör paketinde yüksek voltaj direnci, iyi doğrusallık, mükemmel termal şok performansı ve stabilite elde edebilen ortak yarı iletken üretim teknolojisini benimser.