Passat yakıt için uygulanabilir Common Rail basınç sensörü 06E906051K

1. Bir basınç sensörü oluşturmak için bir yöntem:

Yarıiletken substrat üzerinde ilk ara katman dielektrik tabakası, ilk ara katman dielektrik tabakası ve ikinci bir ara katman dielektrik tabakası oluşturulur.

Birinci ara katman dielektrik tabakasında daha düşük bir elektrot plakası, alt elektrot plakası ile aynı tabakada bulunan ve aralıklarla birbirine ayrılmış bir ilk karşılıklı elektrot.

Katmanların Bağlanması;

Alt kutup plakasının üzerinde kurban bir tabaka oluşturma;

İlk ara katman dielektrik tabakası, ilk ara bağlantı tabakası ve kurban tabakası üzerinde bir üst elektrot plakası oluşturma;

Kurban tabakasını oluşturduktan sonra ve üst plakayı oluşturmadan önce, ilk ara bağlantı katmanında

Bir bağlantı oluğu oluşturmak ve ilk ara bağlantı katmanına elektriksel olarak bağlantı kurmak için bağlantı oluğunu üst plaka ile doldurmak; Veya,

Üst elektrot plakasını oluşturduktan sonra, üst elektrot plakasında ve ilk ara bağlantı katmanında bağlantı olukları oluşur,

Üst elektrot plakasını ve bağlantı oluğundaki ilk ara bağlantı katmanını bağlayan iletken bir tabaka oluşturma;

Üst plakayı ve ilk ara bağlantı katmanını elektrikle bağladıktan sonra, kurban tabakasını bir boşluk oluşturmak için çıkarın.

2. İddia 1'e göre bir basınç sensörü oluşturma yöntemi, burada ilk katmanda

Katmanlar arası dielektrik tabakadaki kurban tabakasını oluşturma yöntemi aşağıdaki adımları içerir:

İlk ara katman dielektrik tabakasına kurban malzeme tabakasının yatırılması;

Kurban malzemesi tabakasının bir kurban tabakası oluşturmak için patlatılması.

3. Fotolitografi ve gravürün kullanıldığı talep 2'ye göre basınç sensörünü oluşturma yöntemi.

Kurban malzeme tabakası dağlama işlemi ile desenlenir.

4. İddia 3'e göre bir basınç sensörü oluşturma yöntemi, burada kurban katmanı

Malzeme amorf karbon veya germanyumdur.

5. İddia 4'e göre bir basınç sensörü oluşturma yöntemi, burada kurban katmanı

Malzeme amorf karbondur;

Kurban malzeme tabakasının aşındırma işleminde kullanılan dağlama gazları arasında O2, CO, N2 ve AR;

Kurban malzeme tabakasını aşındırma işlemindeki parametreler şunlardır: O2'nin akış aralığı 18 SCCM ~ 22 SCCM'dir ve CO'nun akış hızı%10'dur.

Akış hızı 90 SCCM ila 110 SCCM arasında değişmektedir, N2'nin akış hızı 90 SCCM ila 110 SCCM arasında değişmektedir ve AR akış hızı.

Aralık 90 SCCM ~ 110 SCCM, Basınç Aralığı 90 MTOR ~ 110 MTOR ve önyargı gücü

540W ～ 660W。