Passat yakıt ortak yakıt yolu basınç sensörü 06E906051K için geçerlidir

1. Bir basınç sensörünün oluşturulmasına yönelik bir yöntem olup, aşağıdakileri içerir:

Bir birinci ara katman dielektrik katmanının, bir birinci ara katman dielektrik katmanının ve bir ikinci ara katman dielektrik katmanının yarı iletken alt katman üzerinde oluşturulduğu bir yarı iletken alt tabakanın sağlanması.

Birinci ara katman dielektrik katmanında bir alt elektrot plakası, alt elektrot plakasıyla aynı katman üzerinde yer alan ve birbirinden aralıklı bir birinci ortak elektrot.

Katmanları bağlama;

Alt kutup plakasının üzerinde kurban bir katman oluşturmak;

Birinci ara katman dielektrik katmanı, birinci ara bağlantı katmanı ve kurban katman üzerinde bir üst elektrot plakasının oluşturulması;

Kurban katmanı oluşturulduktan sonra ve üst plaka oluşturulmadan önce, birinci ara bağlantı katmanında

Bir bağlantı oluğunun oluşturulması ve birinci ara bağlantı katmanına elektriksel olarak bağlanmak için bağlantı oluğunun üst plaka ile doldurulması;Veya,

Üst elektrot plakası oluşturulduktan sonra üst elektrot plakasında ve birinci ara bağlantı katmanında bağlantı olukları oluşturulur.

Bağlantı oluğunda üst elektrot plakasını ve birinci ara bağlantı katmanını bağlayan iletken bir katman oluşturulması;

Üst plaka ile birinci ara bağlantı katmanı elektriksel olarak bağlandıktan sonra, bir boşluk oluşturacak şekilde kurban katman çıkarılır.

2. İstem 1'e göre bir basınç sensörünün oluşturulmasına yönelik yöntem olup, buradaki birinci katmanda

Ara katman dielektrik katmanı üzerinde kurban katmanın oluşturulmasına yönelik yöntem aşağıdaki adımları içerir:

Birinci ara katman dielektrik katmanı üzerine bir kurban malzeme katmanının bırakılması;

Kurbanlık bir katman oluşturmak için kurbanlık malzeme katmanının modellenmesi.

3. İstem 2'ye uygun basınç sensörünün oluşturulmasına yönelik yöntem olup özelliği, fotolitografi ve oymanın kullanılmasıdır.

Kurbanlık malzeme katmanı, aşındırma işlemiyle desenlendirilir.

4. İstem 3'e göre bir basınç sensörünün oluşturulmasına yönelik yöntem olup özelliği; burada kurban katmanın

Malzeme amorf karbon veya germanyumdur.

5. İstem 4'e göre bir basınç sensörünün oluşturulmasına yönelik yöntem olup, burada, kurban katman

Malzeme amorf karbondur;

Kurban malzeme tabakasının aşındırılması sürecinde kullanılan aşındırma gazları arasında O2, CO, N2 ve Ar yer alır;

Kurban malzeme katmanının aşındırılması işlemindeki parametreler şunlardır: O2 akış aralığı 18 SCCM ~ 22 SCCM ve CO akış hızı %10'dur.

Akış hızı 90 SCCM ila 110 SCCM arasında değişir, N2 akış hızı 90 SCCM ila 110 SCCM arasında değişir ve Ar akış hızı.

Aralık 90 SCCM ~ 110 SCCM, basınç aralığı 90 mtor ~ 110 mtor ve öngerilim gücü

540w～660w.