Yaygın olarak kullanılan yarı iletken basınç sensörü, substrat olarak N tipi silikon gofret kullanır. İlk olarak, silikon gofret belirli bir geometri ile elastik stres taşıyan bir parçaya dönüştürülür. Silikon gofretin stres taşıyan kısmında, farklı kristal yönler boyunca dört P tipi difüzyon direnci yapılır ve daha sonra bu dört dirençle dört kollu bir buğday taşı köprüsü oluşur. Dış kuvvetin etkisi altında, direnç değerlerindeki değişiklikler elektrik sinyalleri haline gelir. Basınç etkisi olan bu buğday taşı köprüsü, genellikle piezoresistif köprü olarak adlandırılan basınç sensörünün kalbidir (Şekil 1'de gösterildiği gibi). Piezoresistive köprünün özellikleri aşağıdaki gibidir: ① Köprünün dört kolunun direnç değerleri eşittir (tüm R0); ② Köprünün bitişik kollarının piezoressistif etkisi, değer bakımından eşit ve zıttır; ③ Köprünün dört kolunun direnç sıcaklık katsayısı aynıdır ve her zaman aynı sıcaklıktadır. Şek. 1, R0, oda sıcaklığında stres olmadan direnç değeridir; RT, sıcaklık değiştiğinde sıcaklık direnç katsayısının (α) neden olduğu değişikliktir; Υ RΔ, suşun (ε) neden olduğu direnç değişikliğidir; Köprünün çıkış voltajı u = i0 Δ rΔ = i0rgy'dir (sabit akım kaynak köprüsü).

Burada i0 sabit akım kaynak akımıdır ve e, sabit voltaj kaynak voltajıdır. Piezoresistif köprünün çıkış voltajı, suş (ε) ile doğru orantılıdır ve sensörün sıcaklık kaymasını büyük ölçüde azaltan direnç sıcaklık katsayısının neden olduğu RT ile ilgisi yoktur. En çok kullanılan yarı iletken basınç sensörü, sıvı basıncını tespit etmek için bir sensördür. Ana yapısı, monokristalin silikondan yapılmış bir kapsüldür (Şekil 2'de gösterildiği gibi). Diyafram bir bardağa yapılır ve fincanın tabanı dış kuvveti taşıyan kısımdır ve basınç köprüsü bardağın altına yapılır. Halka kaidesi aynı silikon tek kristal malzemeden yapılmıştır ve daha sonra diyafram kaide'ye bağlanır. Bu tür basınç sensörü yüksek hassasiyet, küçük hacim ve sağlamlık avantajlarına sahiptir ve havacılık, uzay navigasyonu, otomasyon enstrümanları ve tıbbi araçlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.