Yaygın olarak kullanılan yarı iletken basınç sensörü, alt tabaka olarak N tipi silikon levhayı kullanır.İlk olarak, silikon plaka belirli bir geometriye sahip elastik, stres taşıyan bir parça haline getirilir.Silikon levhanın stres taşıyan kısmında, farklı kristal yönleri boyunca dört P tipi difüzyon direnci yapılır ve daha sonra bu dört dirençle dört kollu bir Wheatstone köprüsü oluşturulur.Dış kuvvetin etkisi altında direnç değerlerindeki değişiklikler elektrik sinyallerine dönüşür.Basınç etkisine sahip bu buğday taşı köprüsü, genellikle piezorezistif köprü olarak adlandırılan basınç sensörünün kalbidir (Şekil 1'de gösterildiği gibi).Piezodirençli köprünün özellikleri aşağıdaki gibidir: ① Köprünün dört kolunun direnç değerleri eşittir (hepsi r0);② Köprünün bitişik kollarının piezodirenç etkisi değer olarak eşit ve işaret olarak zıttır;③ Köprünün dört kolunun direnç sıcaklık katsayısı aynıdır ve her zaman aynı sıcaklıktadırlar.İncirde.1, R0 oda sıcaklığında gerilimsiz direnç değeridir;RT, sıcaklık değiştiğinde direnç sıcaklık katsayısının (α) neden olduğu değişikliktir;Υ Rδ gerinimin (ε) neden olduğu direnç değişimidir;Köprünün çıkış voltajı u=I0 Δ Rδ=I0RGδ'dir (sabit akım kaynağı köprüsü).

Burada I0 sabit akım kaynağı akımıdır ve e sabit voltaj kaynağı voltajıdır.Piezo dirençli köprünün çıkış voltajı, gerilim (ε) ile doğrudan orantılıdır ve direnç sıcaklık katsayısının neden olduğu RT ile hiçbir ilgisi yoktur, bu da sensörün sıcaklık sapmasını büyük ölçüde azaltır.En yaygın olarak kullanılan yarı iletken basınç sensörü, sıvı basıncını tespit etmeye yönelik bir sensördür.Ana yapısı monokristalin silikondan yapılmış bir kapsüldür (Şekil 2'de gösterildiği gibi).Diyafram bir kap haline getirilmiş olup, kabın tabanı dış kuvveti taşıyan kısımdır ve kabın tabanına basınç köprüsü yapılmıştır.Halka kaidesi aynı silikon tek kristal malzemeden yapılır ve daha sonra diyafram kaideye bağlanır.Bu tür basınç sensörleri yüksek hassasiyet, küçük hacim ve sağlamlık avantajlarına sahiptir ve havacılıkta, uzay navigasyonunda, otomasyon cihazlarında ve tıbbi cihazlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.